什么是MEMS传感器行业?
MEMS传感器行业,是指利用微机电系统结构、半导体微加工、薄膜材料、腔体封装、ASIC读出和校准算法,将压力、加速度、微流量、温湿度、气体、位置或结构振动等物理量转化为电信号或数字数据的产业。它面向汽车安全与动力系统、工业设备、消费电子、医疗设备、智能家居和物联网终端提供可批量部署的微型化传感器。其边界在于以微机械结构和专用工艺为核心的传感器件;CMOS图像传感器属于图像传感器,高精度IMU和磁传感组合主要归入磁性与惯性传感器,MEMS麦克风与触控执行/感知器件归入声学与触控器件。
